ICP還可以作為原子化器，如以空心陰燈為光源，ICP為原子化器的原子熒光光譜儀.這類儀器不采用單色器，以ICP為中心，在周圍安裝多個檢測單元(每一元素配一個檢測單元),形成了多元素分析系統.

電感耦合等離子體發射光譜儀具有自主封裝技術的高速 CCD 數采系統，可以對紡織品、玩具、催化劑、石油等各種樣品進行無機元素分析。

多電感耦合等離子體發射光譜儀是領域無機分析能手，環境中大氣、水質、土壤和固廢污染物中無機元素分析； 食品藥品中營養元素和污染元素的定性定量分析；

ICP光譜儀儀器特點：進樣系統具有、穩定的進樣系統。通過不斷地形成大小一致的液滴，eNeb選件可令Optima提供的穩定性和無可比擬的檢出限，非常適用于環境和制劑實驗室。有的RF發生器采用免維護的等離子體感應板，替代傳統的螺旋負載線圈。無需冷卻，氬耗降低，操作成本大大降低。

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