X熒光光譜儀可對(duì)固體、粉末、液體、懸浮物、過(guò)濾物、大氣飄塵、薄膜樣品等進(jìn)行定性、定量剖析，元素局限13Al-92U，含量局限ppb至，檢出限到2pg，X熒光光譜儀在無(wú)損檢測(cè)方面，具有其他剖析技能無(wú)法比較的長(zhǎng)處，應(yīng)用X射線光譜儀掃描辦法探測(cè)土壤表層下面的是元素是X射線無(wú)損檢側(cè)技能的一個(gè)主要使用范疇。

X熒光光譜儀是一種較新型的可以對(duì)多元素進(jìn)行同時(shí)測(cè)定的儀器，在X射線激發(fā)下，被測(cè)元素原子的內(nèi)層電子發(fā)生能級(jí)躍遷而發(fā)出次級(jí)X射線（即X熒光），波長(zhǎng)和能量是從不同的角度來(lái)觀察描述X射線所采用的兩個(gè)物理量。

X熒光光譜儀是一種無(wú)損的，應(yīng)用廣泛的光譜分析儀器，X熒光光譜儀由激發(fā)源和探測(cè)系統(tǒng)構(gòu)成，X射線管產(chǎn)生入射X射線，激發(fā)被測(cè)樣品，受激發(fā)的樣品中的每一種元素會(huì)放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長(zhǎng)特性。

X熒光光譜儀是一種的、非破壞式的物質(zhì)測(cè)量方法，X射線熒光是用高能量X射線或伽瑪射線轟擊材料時(shí)激發(fā)出的次級(jí)X射線，這種現(xiàn)象被廣泛用于元素分析和化學(xué)分析，特別是在金屬，玻璃，陶瓷和建材的調(diào)查和研究，地球化學(xué)，法，考古學(xué)和藝術(shù)品，例如油畫和壁畫。

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